【摘要】光刻胶剥离制程为TFT-LCD中重要的制程，其剥离效果及洗净程度将直接影响TFT质量，本文主要阐述了TFT- LCD 生产中光刻胶剥离制程可影响产品质量的问题，并根据产线的情况对这些问题产生原因进行了分析, 对实际生产过程中出现的问题 提出了相应的解决方案。
【关键词】
《文化产业》 2015-10-19
《文化产业》 2015-10-19
《文化产业》 2015-10-19
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《科技创新与应用》 2015-10-20
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010-56259535
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